Оже-спектроскопія

Матеріал з Вікіпедії — вільної енциклопедії.
Перейти до: навігація, пошук

Оже-спектроскопія - область електронної спектроскопії, в основі якої лежать вимірювання енергії та інтенсивності висилання оже-електронів.

За способом отримання інформації про поверхні методи аналізу поділяються на емісійні, в яких використовується емісія частинок в результаті дії на поверхню різних факторів (температура, електричне поле), та зондуючі, що засновані на емісії частинок або випромінювання, що діють на досліджувану поверхню. Метод електронної оже-спектроскопії відноситься до зондуючого методу. Він заснований на аналізі розподілених по енергії електронів, емітованих досліджуваною речовиною під дією пучка первинних електронів та виділення з загального енергетичного спектру тих, які виникли в результаті оже-процесу. Їх енергія визначає енергетичну структуру оболонок атомів, що беруть участь у процесі, а струм в першому наближенні – їх концентрацією.

Оже-процеси проявляються при бомбардуванні поверхні твердого тіла повільними електронами з енергією ЕР від 10 до 10000 еВ. Бомбардування твердих тіл у вакуумі супроводжується вторинною електронною емісією. До складу вторинних електронів, що емітуються, крім власне вторинних електронів, входять пружньо- та непружньорозсіяні первинні електрони.

Природа оже-електронів[ред.ред. код]

При бомбардуванні поверхні матеріалу електронами з енергією, достатньою для іонізації однієї з внутрішніх оболонок атома, наприклад К, виникає первинна вакансія, яка моментально (за 10–14 – 10–16 с) заповнюється електроном, що перейшов з іншої оболонки атома, наприклад М. В результаті чого виникає вторинна вакансія. Якщо ЕК і ЕМ ¬-– енергії, необхідні для перенесення електрона з К і М рівнів на нескінченність, то енергія що виділилась рівна ЕК – ЕМ. Енергія, що виникла може бути реалізована по різному. З одного боку, у вигляді випущеного кванта характеристичного рентгенівського випромінювання hv = EK – EM (радіаційний перехід), а з іншого боку передана електрону зовнішньої оболонки атома, наприклад N (безвипромінювальний перехід або оже-перехід). Енергія |ЕК – ЕМ| – EN може бути додатня (або дорівнювати нулю). В цьому випадку електрон емітується у вакуум та реєструється як оже-електрон. Імовірність його виходу залежить від порядкового номеру Z атомів досліджуваного матеріалу. Оскільки імовірність радіаційного переходу з і збільшенням Z збільшується (пропорційно Z4), імовірність появи оже-перехода при цьому зменшується. Так, для легких елементів вона становить приблизно 95%, а для елементів з Z > 70 не перевищує 10%. Глибина виходу оже-електронів d0 в діапазоні енергій, які мають цікавість для електронної оже-спектроскопії, становить 5 – 10 , тобто всього декілька моноатомних шарів. Тому можна сказати, що інформація отримана цим методом відноситься до при поверхневої області досліджуваного зразка.

Емітовані електрони якого-небудь елемента, що виникли в результаті оже-процеса, завжди характеризуються деякими значеннями енергії. Звідси, якщо провести аналіз по енергіям електронів, емітованих речовиною під дією пучка первинних електронів, виділити з загального енергетичного спектру ті електрони, які виникли в результаті оже-процесу та визначити їх енергії, то можна зробити висновок про наявність на поверхні того чи іншого елемента.

Фактори, що впливають на інтенсивність емісії оже-електронів[ред.ред. код]

На інтенсивність емісії оже-електронів суттєво впливає різні фактори, такі як, залежність перерізу іонізації внутрішніх рівнів атомів від енергії первинних електронів, обернений потік розсіяних електронів, імовірність переходу атома в не збуджений стан з виникненням фотона та дещо інше.

Залежність перерізу іонізації рівня від енергії електронів первинного пучка[ред.ред. код]

Оскільки значення енергії первинних електронів ЕР є важливим фактором при утворенні в атомах первинних вакансій, її зміна повинна суттєво впливати на величину струму оже-електронів.

Вплив кута падіння первинних електронів на кількість оже-електронів[ред.ред. код]

Суттєвий вплив на струм оже-електронів виявляють кутові умови вимірювань, які визначаються вибором кута падіння електронів на зразок і кута реєстрації оже-електронів . Кут вимірюється між напрямком пучка первинних електронів і нормаллю до досліджуваної поверхні, а кут – між нормаллю і напрямком оже-електронів, що потрапляють в пристрій який їх реєструє.

Див. також[ред.ред. код]

Ефект Оже

Фізика Це незавершена стаття з фізики.
Ви можете допомогти проекту, виправивши або дописавши її.