An aligner is a major piece of equipment used in semiconductor device fabrication. Trending from upper left to lower right is the wafer-track system of a photolithographic cell that uses the "i-line" from a mercury arc lamp (wavelength 365 nm) to expose photoresist deposited on siliconwafers. Wafers are robotically loaded from a carrier at the left hand of the system and progressively are coated with photoresist, exposed to ultraviolet light, and "developed". The development step involves using a solvent to remove either the exposed (positive photoresist) or unexposed (negative photoresist) portions of the film. In the foreground is a black plastic box containing silicon wafers with a diameter of 6" (150 mm).
Photo taken at HP Labs by Alison Chaiken using a Nikon 995 camera. Note that the light in the room really is yellow!
Ліцензування
Дозволяється копіювати, розповсюджувати та/або модифікувати цей документ на умовах ліцензії GNU FDL версії 1.2 або більш пізньої, виданої Фондом вільного програмного забезпечення, без незмінних розділів, без текстів, які розміщені на першій та останній обкладинці. Копія ліцензії знаходиться у розділі GNU Free Documentation License.http://www.gnu.org/copyleft/fdl.htmlGFDLGNU Free Documentation Licensetruetrue
ділитися – копіювати, поширювати і передавати твір
модифікувати – переробляти твір
При дотриманні таких умов:
зазначення авторства – Ви повинні вказати авторство, надати посилання на ліцензію і вказати, чи якісь зміни було внесено до оригінального твору. Ви можете зробити це в будь-який розсудливий спосіб, але так, щоб він жодним чином не натякав на те, наче ліцензіар підтримує Вас чи Ваш спосіб використання твору.
поширення на тих же умовах – Якщо ви змінюєте, перетворюєте або створюєте іншу похідну роботу на основі цього твору, ви можете поширювати отриманий у результаті твір тільки на умовах такої ж або сумісної ліцензії.
Цей шаблон ліцензування був доданий до файлу в рамках оновлення ліцензії GFDL.http://creativecommons.org/licenses/by-sa/3.0/CC BY-SA 3.0Creative Commons Attribution-Share Alike 3.0truetrue
Підписи
Додайте однорядкове пояснення, що саме репрезентує цей файл
Файл містить додаткові дані, які зазвичай додаються цифровими камерами чи сканерами. Якщо файл редагувався після створення, то деякі параметри можуть не відповідати цьому зображенню.