Форвакуумний насос
Форва́куумний насо́с — вакуумний насос для створення попереднього розрідження (форвакууму), перший ступінь каскаду вакуумних насосів систем отримання високого вакууму, призначений для підтримування тиску у вихідному перерізі насоса вищого вакууму, що дає змогу останньому забезпечувати задані параметри відкачування[1][2].
Призначений для економії енергії або забезпечення умов роботи насоса більш високого вакууму. Форвакуумні насоси дозволяють досягати розрідження до 10−3 мм рт. ст. (середній вакуум).
Як форвакуумні насоси використовують масляні: рідинно-кільцеві, роторно-пластинчасті (найдешевший і малопродуктивний варіант), пластинчасто-статорні, золотникові (плунжерні) насоси; сухі (безмасляні): діафрагмові, спіральні, гвинтові; також можуть використовуватися пароструминні ежекторні насоси.
Основною тенденцією розвитку форвакуумної техніки є використання безмасляних насосів, які є переважно найефективнішим рішенням проблеми створення форвакууму.
При використанні масляних форвакуумних насосів може відбуватися забруднення одержуваного форвакууму парами масел. Для захисту від зворотного потоку масла від насоса до робочих об'ємів використовуються форвакуумні пастки.
Для досягнення більш високого вакууму використовують ступені на базі паромасляного дифузного насоса, ртутного пароструминного дифузійного насоса, турбомолекулярного насоса тощо.
- ↑ ДСТУ 2758-94 Вакуумна техніка. Терміни та визначення.
- ↑ Вакуумные системы технологического оборудования/Н. А. Чиченев, В. А. Демин, П. А. Златин и др. — МГИУ, 2010. — 443 с. — С.134. — ISBN 9785276018003
- Фролов Е. С. Автономова И. В. Васильев В. И. Механические вакуумные насосы. — М.: Машиностроение, 1989. — 288 с.
- Бех І. І. Основи фізики вакууму та вакуумної техніки. Методи отримання високого й надвисокого вакууму [Текст]: навч. посіб. / І. І. Бех та ін. ; Київський національний ун-т ім. Тараса Шевченка. — К.: Видавничо-поліграфічний центр «Київський університет», 2001. — 105 с. — ISBN 966-594-261