Мікросистема
Перейти до навігації
Перейти до пошуку
 | Ця стаття не містить посилань на джерела. (липень 2023) |
Мікросистема — мініатюрна інженерна система, що звичайно складається з МЕМС і виконує спеціальні інженерні функції. Мікросистема має, як правило, три головні складові компоненти: мікросенсорну частину, актуатор, блок обробки інформації.
До мікросистемних пристроїв відносять пристрої, які можуть мати характерний розмір від мікрометрів до одиниць міліметрів і декількох сантиметрів.
